ヘーターによってウェーハが台無しになるのを防ごう
クラス100の清浄室では、ほんのわずかなほこりの粒子だけで、大量の製品が破棄されてしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的なヘーターは問題の原因となります。なぜなら、それらは有害物質を放出したり、微小な破片を発生させたりするからです。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。このランプは放射熱を利用するため、汚染物質が基板に吹き付けられることはありません。つまり、純粋な熱だけが基板に届くのです。
ランプの構造
私たちは、不純物含有率が極めて低い融解シリカを使用しています。なぜかというと、高温になった時でも石英管が劣化したり壊れたりしないからです。一方、金属製のヘーターは時間が経つにつれて酸化して剥がれ落ちてしまいますが、石英はそのまま安定しています。また、フィラメントが中央に留まるように、真空封止式のハロゲンサイクルも採用しています。これにより、ランプの寿命が大幅に延び、数週間ごとに清浄室を開けてランプを交換する必要がなくなります。それだけ、汚染のリスクも減ります。
効率的な動作
これらのランプは素早く加熱・冷却されます。非常に狭い空間内で大量の熱が得られます。放射熱であるため、熱は直接ワークピースに伝わり、他の装置が過熱することもありません。また、精密なSCRを使って温度を制御することもできます。
ちょっとしたコツ：乾燥を加速させるために出力を上げる場合は、ランプホルダーに注意してください。多量のエネルギーが発生するため、ランプホルダーが変形しないように、十分な耐熱性があるか確認してください。
製造ラインへの導入
もし依然として古い対流式のシステムを使っているのであれば、これらのランプを導入するのが良いでしょう。IRランプを使用すれば、加熱エリアにあるHEPAフィルター付きのブロワーを不要にできます。配管も簡単になり、真空チャンバー内で故障しやすい部品も少なくなります。そして、処理速度も向上します。つまり、よりクリーンな作業環境が実現されるのです。