ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ

飛散物を防ぐ：なぜ金メッキ済みのツインチューブランプが歩留まりを守るのか 高圧半導体製造環境において、ランプが壊れるというのは単なる「メンテナンスの問題」に過ぎないわけではありません。それはまさに大惨事です。 通常の石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、ガラスの破片や金属酸化物がウェーハ全...