防水赤外線ランプ すすぎ用

ウェットベンチでは、すすぎによって引き起こされる熱勾配は静かなものであり、静かに歩留まりを損なうものです。標準的なヒーターでは、エッジビーズを残したり、フォトレジストにストレスを与えたりせずにウエハーをきれいに乾燥させることができません。熱の均一性がずれると、ラインは停止します。以上です。 赤外線...