高性能パッケージング赤外線ランプ

先端パッケージング工程における熱管理 先端パッケージングフロアでは、熱予算の許容範囲が極めて狭い。フォトレジストのベーク中に2℃の変動があるだけで、重要寸法が狂い、リワークのコストはウェーハのスクラップで計測される。この赤外線ランプは、その熱環境を仕様内に厳密に保持するために設計したものであり、サ...