キャノン・リソグラフィ用ヒーターバルブ

ファブの現場では、フォトレジストの焼成工程において線幅の制御が重要になります。決して楽な作業ではありません。ソフトベイクやハードベイクの際に数度のずれが生じると、露光条件が悪くなり、ウェハ上の各部位の位置もずれてしまいます。キヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブは、この事実を踏まえて設計されてい...