クリーンルームでの炭素削減：なぜ赤外線が最適なのか ほとんどの半導体製造用オーブンは依然として対流方式を利用している。つまり、ウェハを温めるために巨大な空気の泡を加熱するわけだ。これは効率が悪く、無駄も多い。正直、真に「グリーン」な工場を建設しようと思うなら、この方法は時代遅れだ。 そのため、今で...

ファブ内では、フォトレジストが載ったカートの温度がどれだけ速く変動するかによって、線幅にも変動が生じます。わずかな温度のばらつきでも、一括して製品を廃棄せざるを得ません。そこで、私たちはこのようなばらつきをなくすためにクリーンルーム用のヒーターを開発しました。このヒーターにより、全ての製品が一定の...