ファブ乾燥設備のエネルギー診断

ヘーターによってウェーハが台無しになるのを防ごう クラス100の清浄室では、ほんのわずかなほこりの粒子だけで、大量の製品が破棄されてしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的なヘーターは問題の原因となります。なぜなら、それらは有害物質を放出したり、微小な破片を発生させたりするからです。 そのた...