ファブ用のトップ評価RTPランプ

ファブフロアでは、サーマルバジェットはガイドラインではなく、絶対的な境界です。ソフトベイクやハードベイクで1℃でもずれると、フォトレジストのプロファイルが変化します。CD制御がずれ、オーバーレイ誤差が増加します。やがて製造ラインは良品とスクラップを分けるのではなく、問題を分けるだけになります。 実...