ヘーターによってウェーハが台無しになるのを防ごう クラス100の清浄室では、ほんのわずかなほこりの粒子だけで、大量の製品が破棄されてしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的なヘーターは問題の原因となります。なぜなら、それらは有害物質を放出したり、微小な破片を発生させたりするからです。 そのた...

ガラスの破片がワーフェルを傷つけるのを防ぐ：ランプが故障した時でもワーフェルをきれいに保つ方法 高負荷の半導体製造環境では、赤外線ランプが突然破損するのは本当に厄介な問題です。石英管が壊れると、単に加熱が停止するだけでなく、破裂してしまいます。その結果、ガラスの破片や化学物質がワーフェルの表面に散...

揮発性の化学物質を加熱する際には、安全を最優先にしなければなりません。正直に言えば、半導体洗浄用の溶液を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際には、少しのミスでも大惨事につながります。わずかな火花や露出した加熱素子だけで、大変な事態になってしまいます。 そのため、私たちは...