IR加熱を利用したチップ製造における炭素削減 クリーンルームで作業したことがある人なら、その大変さは理解できるでしょう。熱が必要ですが、その温度も正確にコントロールする必要があります。しかし、最も避けたいのはほこりが発生することです。だからこそ、私たちは赤外線（IR）加熱ランプを利用するのです。...

クリーンルームでの炭素削減：なぜ赤外線が最適なのか ほとんどの半導体製造用オーブンは依然として対流方式を利用している。つまり、ウェハを温めるために巨大な空気の泡を加熱するわけだ。これは効率が悪く、無駄も多い。正直、真に「グリーン」な工場を建設しようと思うなら、この方法は時代遅れだ。 そのため、今で...

クラス100のクリーンな環境を維持するには もしクラス100の環境で作業を行っているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりの破片やヒーターから発生するガスさえも、単なる迷惑な存在ではありません。それは大惨事です。ウェーハを台無しにし、歩留まりを悪化させてしまいます。 一般的なヒーターランプは、こ...

シャードの発生を防ぎ、ウェーハを安全に守る 大量生産の環境では、ランプが故障すると、単なる面倒事や短時間の停止にとどまらず、大惨事につながります。石英管が破裂すると、ただの消えた電球以上の問題が起こります。ガラスの破片や金属の微粒子がウェーハの上に散乱してしまうのです。 これは決して許されない被害...

ファブ内では、フォトレジストが載ったカートの温度がどれだけ速く変動するかによって、線幅にも変動が生じます。わずかな温度のばらつきでも、一括して製品を廃棄せざるを得ません。そこで、私たちはこのようなばらつきをなくすためにクリーンルーム用のヒーターを開発しました。このヒーターにより、全ての製品が一定の...

冬のトレーニング後、寒さの中で筋肉がすぐに硬直します。一般的なヒーターは空気を温めますが、その熱は痛みのある組織の内部まで届くことはほとんどありません。必要なのは、筋繊維をほぐし血行を促進する浸透性のある熱であり、室内をサウナのようにすることなく効果を発揮します。 技術的に重要なポイント 赤外線放...