太陽電池ウェーハ乾燥ランプ

ウェーハの乾燥処理は、単なる受動的な工程ではありません。これは、パターンの形状が確定する前の最後の加熱段階です。わずかな水分が残っていたり、ソフトベイクやハードベイクの際に温度制御が乱れると、フォトレジストの表面に問題が生じたり、端に不純物が付着したり、寸法に変動が生じたりします。太陽電池用ウェー...