なぜ私たちはオーブンを使わずに赤外線による硬化処理を採用するのか？ スマートセンサーの包装について話しましょう。長年にわたり、私たちは物を乾燥させるために大型の対流式オーブンを使ってきました。しかし、今は無鉛で低排出ガスの機器が求められており、古いオーブンではもはや不十分です。 そのため、私たちは...

先端パッケージング工程における熱管理 先端パッケージングフロアでは、熱予算の許容範囲が極めて狭い。フォトレジストのベーク中に2℃の変動があるだけで、重要寸法が狂い、リワークのコストはウェーハのスクラップで計測される。この赤外線ランプは、その熱環境を仕様内に厳密に保持するために設計したものであり、サ...