ウェーハIRの高精度加熱

ファブフロアでは、リソグラフィクラスターは止まることなく稼働し続ける。トラックはウェーハを供給し、レジストは回転し、エッジビードが除去され、ベークは厳密な熱ウィンドウ内で行わなければならない——すべての通過で。ソフトベークやハードベーク中に1℃のドリフトがあると、クリティカルディメンションが変動し...