固体電池加工用ヒーター

製造現場において、固体電池のスタック加工中の熱ドリフトは、単なるグラフ上の数値というだけではありません。それによりウェーハが無駄になったり、熱管理が困難になったりし、スケジュールの調整も大変になります。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの時間帯は非常に狭く、また、積層体や電解質界面の温度も...