グローブボックスを爆弾にしないでください 可燃性の洗浄剤が入ったグローブボックスを加熱する場合、普通のIRランプでは不十分です。わずかな火花や高温の表面が揮発性の蒸気に触れるだけで、大惨事につながります。本当に怖いことです。 そのため、私たちはオープン型のデザインを使うのをやめ、専用の封止処理を施...

では、IP65等級を持つ赤外線ヒーターについて話しましょう。 もしロッカールームや蒸気が満ちた更衣室を温めようとしたことがあるなら、その大変さはご存知でしょう。通常のヒーターでは、湿気に対処できません。湿気を吸収してしまい、短絡してしまったり、フィラメントがすぐに壊れてしまったりします。本当に厄介...

ファブの現場では、わずかな温度変動が大きな問題につながることをすぐに理解できます。酸化処理中にウェーハの温度が0.5℃変動するだけでも、ゲート酸化膜の完全性が損なわれてしまいます。リソグラフィーにおいても、数度の温度偏差があるだけで線幅にばらつきが生じます。熱的な再現性は単なる望ましい特性ではなく...