なぜ、すべてのウェーハ用IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ ウェーハの製造においては、わずかな電気的なアークが発生するだけで、一括りのシリコンが台無しになってしまいます。これは最悪の事態です。そのため、私たちは「抽出検査」を信じていません。私たちの工場から出荷されるすべてのランプやセン...

ファブフロアでは、リソグラフィクラスターは止まることなく稼働し続ける。トラックはウェーハを供給し、レジストは回転し、エッジビードが除去され、ベークは厳密な熱ウィンドウ内で行わなければならない——すべての通過で。ソフトベークやハードベーク中に1℃のドリフトがあると、クリティカルディメンションが変動し...