ウェーハの硬化処理におけるランプの故障対応 高負荷でウェーハの硬化処理を行っていると、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や少しの停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 もし石英管が破裂すれば、ガラスの破片やハロゲン成分がシリコン表面に降り注ぎます。そうなると、そのロット全体が台無しになっ...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜIR照明にはより良い反射板が必要なのか 正直に言って、半導体工場では、無駄になる熱というのは、単なるお金や二酸化炭素の無駄遣いに他なりません。もしIRランプから出る熱が機械の筐体内に漏れてしまっているなら、それは無駄な努力に過ぎません。 解決策は思ったよりも簡単です。ア...