目を傷つけることなく、温かいバスルームを作る方法 誰もが、熱いシャワーから出てきて急に寒いバスルームに入るのは嫌ですよね。それは体にとって大きな負担です。しかし、蒸気や鏡でいっぱいの部屋にヒーターを設置するときは、適当なランプを使うわけにはいきません。実際に効果的な暖房が必要ですが、まるで太陽の光...

揮発性の化学物質を加熱する際には、安全を最優先にしなければなりません。正直に言えば、半導体洗浄用の溶液を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際には、少しのミスでも大惨事につながります。わずかな火花や露出した加熱素子だけで、大変な事態になってしまいます。 そのため、私たちは...

ファブラインにおいて、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、熱による「握手」のようなものです。ソフトベイクやハードベイクの際に、わずか2℃でも目標値から外れてしまうと、重要な寸法管理や歩留まりに影響が出ます。私たちは、このような状況を維持するために、石英製の加熱ランプを開...

ウェーハの薄化処理は、熱に敏感なプロセスです。適切な熱管理が行われないと、シリコンが割れてしまいます。また、表面の温度が2℃変動するだけでも、応力の不均一が生じ、その結果、歩留まりの低下につながります。私たちは、このような制約を考慮して赤外線加熱装置を設計しました。つまり、ウェーハに与える熱を精密...