ファブランプ用の石英ガラスシールド

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイク工程は単なる一工程ではない。そこが門口である。温度異常や微粒子発生が一度でもあれば、多くのウェハを失う可能性がある。そこで我々は、シフトごとにその門を閉じ続けるために、ファブランプ用の石英ガラスシールドを製作した。 内部で重要なポイント 高純度の融解石英...