クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

クリーンルームでの炭素削減：なぜ赤外線が最適なのか ほとんどの半導体製造用オーブンは依然として対流方式を利用している。つまり、ウェハを温めるために巨大な空気の泡を加熱するわけだ。これは効率が悪く、無駄も多い。正直、真に「グリーン」な工場を建設しようと思うなら、この方法は時代遅れだ。 そのため、今で...