SEM 走査型電子顕微鏡 ヒーター

SEMフロアでは、微少なサンプルステージのドリフトや不安定なフォトレジストのベークプロファイルが、知らぬ間に歩留まりを低下させる。表示上はわずかな温度変動でも、数時間後には線幅誤差や帯電アーティファクトとして現れる。これに対処するため、当社は赤外線SEMヒーターを開発し、ドリフトの発生源を抑制して...