IR加熱を利用したチップ製造における炭素削減 クリーンルームで作業したことがある人なら、その大変さは理解できるでしょう。熱が必要ですが、その温度も正確にコントロールする必要があります。しかし、最も避けたいのはほこりが発生することです。だからこそ、私たちは赤外線（IR）加熱ランプを利用するのです。...

クラス100のクリーンな環境を維持するには もしクラス100の環境で作業を行っているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりの破片やヒーターから発生するガスさえも、単なる迷惑な存在ではありません。それは大惨事です。ウェーハを台無しにし、歩留まりを悪化させてしまいます。 一般的なヒーターランプは、こ...