飛散物を防ぐ：なぜ金メッキ済みのツインチューブランプが歩留まりを守るのか 高圧半導体製造環境において、ランプが壊れるというのは単なる「メンテナンスの問題」に過ぎないわけではありません。それはまさに大惨事です。 通常の石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、ガラスの破片や金属酸化物がウェーハ全...

IRランプをリスクの原因にしないでください 化学洗浄用の浴槽にIRランプを使用するときは、まるで火遊びをしているようなものです。可燃性の蒸気は決して侮れません。普通の電球を使えば、災害を招くことになります。 だからこそ、私たちは別の方法を採用しています。金コーティングされた反射板と、非常に頑丈な密...