以下に、次の分類用語を使用するページがあります “解決策” 持続可能なファブ製造ソリューション 壁を加熱するのをやめましょう ほとんどの加熱装置は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度にわたってエネルギーが散逸してしまうのです。半導体製造工場では、これは大きな問題です。 熱が特定の方向に向けられないと、大量のエネルギーがウェーハに当たらず、装置の内壁に直接当たってしまいます... Read more...
持続可能なファブ製造ソリューション 壁を加熱するのをやめましょう ほとんどの加熱装置は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度にわたってエネルギーが散逸してしまうのです。半導体製造工場では、これは大きな問題です。 熱が特定の方向に向けられないと、大量のエネルギーがウェーハに当たらず、装置の内壁に直接当たってしまいます... Read more...