フォトレジストソフトベイクランプ

リソグラフィー工程において、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、フォトレジストの形状を固定し、溶剤を除去し、次の工程での線幅制御のための条件を整える重要なステップです。ランプの性能が低下し始めると、すぐにわかります。エッジ部分で不均一な加熱が起こったり、界面付近で問題...