半導体製造装置内での熱の無駄遣いを止めましょう。 もし、高ワット数の硬化ランプを製造装置内で使用したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。物理学の法則上、標準的なランプからは熱が360度全方向に放出されます。 狭いスペースで作業を行っている場合、これは大きな問題です。エネルギーの半分がウェ...

ウェーハの硬化処理におけるランプの故障対応 高負荷でウェーハの硬化処理を行っていると、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や少しの停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 もし石英管が破裂すれば、ガラスの破片やハロゲン成分がシリコン表面に降り注ぎます。そうなると、そのロット全体が台無しになっ...