真空チャンバー用赤外線ヒーター
熱と爆発性化学物質が出会った時の安全対策
もし、化学洗浄用のチャンバー内で赤外線ヒーターを使用しているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。そこには揮発性の蒸気や可燃性の溶剤が漂っています。このような環境では、わずかな火花やクォーツ管の微細な裂け目でも、単なるメンテナンス上の問題ではなく、災...
真空対応の赤外線ヒーター
真空対応の赤外線ヒーター:半導体製造コストを抑える高性能なハロゲンランプ
半導体製造について話しましょう。ここでは、すべての部品がその役割を果たさなければなりません。性能が悪ければ、単にスペースを取るだけで、予算も無駄になってしまいます。
そこで、私たちは真空環境下でも優れた性能を発揮する赤外線ヒ...