ウエハー処理装置用温度センサー

ウェーハ加工における電力消費と二酸化炭素排出量の削減 正直に言って、半導体製造工場は莫大な電力を消費する場所です。もし二酸化炭素排出量を削減したいのであれば、ウェーハをどのように加熱しているかを見直す必要があります。 長年にわたり、私たちは抵抗式ヒーターを使用してきました。しかし問題点は、ウェーハ...