半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ファブ内では、フォトレジストが載ったカートの温度がどれだけ速く変動するかによって、線幅にも変動が生じます。わずかな温度のばらつきでも、一括して製品を廃棄せざるを得ません。そこで、私たちはこのようなばらつきをなくすためにクリーンルーム用のヒーターを開発しました。このヒーターにより、全ての製品が一定の...