では、IP65等級を持つ赤外線ヒーターについて話しましょう。 もしロッカールームや蒸気が満ちた更衣室を温めようとしたことがあるなら、その大変さはご存知でしょう。通常のヒーターでは、湿気に対処できません。湿気を吸収してしまい、短絡してしまったり、フィラメントがすぐに壊れてしまったりします。本当に厄介...

ウェーハを加熱する際に、状況を冷静かつ安全に保つ方法 化学的な洗浄処理を行う際にウェーハを加熱するとき、まるで綱渡りをしているようなものです。仕事を遂行するためには十分な熱が必要ですが、力を入れすぎると発火のリスクが生じます。可燃性の溶剤の近くで一般的な赤外線ランプを使用するのは危険だけでなく、重...

ファブの現場では、わずかな温度変動が大きな問題につながることをすぐに理解できます。酸化処理中にウェーハの温度が0.5℃変動するだけでも、ゲート酸化膜の完全性が損なわれてしまいます。リソグラフィーにおいても、数度の温度偏差があるだけで線幅にばらつきが生じます。熱的な再現性は単なる望ましい特性ではなく...