クリーンルーム機器のアップグレードを行う工場

クラス100のクリーンな環境を維持するには もしクラス100の環境で作業を行っているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりの破片やヒーターから発生するガスさえも、単なる迷惑な存在ではありません。それは大惨事です。ウェーハを台無しにし、歩留まりを悪化させてしまいます。 一般的なヒーターランプは、こ...