ファブ内では、フォトレジストが載ったカートの温度がどれだけ速く変動するかによって、線幅にも変動が生じます。わずかな温度のばらつきでも、一括して製品を廃棄せざるを得ません。そこで、私たちはこのようなばらつきをなくすためにクリーンルーム用のヒーターを開発しました。このヒーターにより、全ての製品が一定の...

照明が暗くなり、スクリーンに光が灯ります。そして、お気に入りのサウンドトラックの最初のメロディが流れ始めます。その時、邪魔になる音が聞こえてきます――それはエアヒーターが動き始めるときの静かな音で、その音によって映像から注意がそらされてしまいます。適切なホームシアターでは、暖かさもまたその場の雰囲...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、フォトレジストの形状を固定し、溶剤を除去し、次の工程での線幅制御のための条件を整える重要なステップです。ランプの性能が低下し始めると、すぐにわかります。エッジ部分で不均一な加熱が起こったり、界面付近で問題...

製造現場において、固体電池のスタック加工中の熱ドリフトは、単なるグラフ上の数値というだけではありません。それによりウェーハが無駄になったり、熱管理が困難になったりし、スケジュールの調整も大変になります。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの時間帯は非常に狭く、また、積層体や電解質界面の温度も...

ファブラインにおいて、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、熱による「握手」のようなものです。ソフトベイクやハードベイクの際に、わずか2℃でも目標値から外れてしまうと、重要な寸法管理や歩留まりに影響が出ます。私たちは、このような状況を維持するために、石英製の加熱ランプを開...

ウェーハの乾燥処理は、単なる受動的な工程ではありません。これは、パターンの形状が確定する前の最後の加熱段階です。わずかな水分が残っていたり、ソフトベイクやハードベイクの際に温度制御が乱れると、フォトレジストの表面に問題が生じたり、端に不純物が付着したり、寸法に変動が生じたりします。太陽電池用ウェー...

エネルギー価格が上昇し続ける中、車のエンジンをかけるたびに、それは予期せぬ小さな出費のように感じられます。ポータブル型の赤外線ヒーターを使えば、そのコスト圧力をコントロールできます。エンジンを動かすことなく、お財布にも負担をかけずに快適さを得られるのです。 技術的なポイント このヒーターは、空気を...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成工程において線幅の制御が重要になります。決して楽な作業ではありません。ソフトベイクやハードベイクの際に数度のずれが生じると、露光条件が悪くなり、ウェハ上の各部位の位置もずれてしまいます。キヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブは、この事実を踏まえて設計されてい...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの焼成処理は決して手を抜くべきではありません。ソフトベイクやハードベイク時に1℃でも温度が変動すると、ウエハの重要な寸法が変わり、側壁の形状も乱れてしまいます。また、ウエハに熱的不均一性が生じると、歩留まりの低下や再加工が必要になり、最悪の場合は全ロット...

ファブの現場では、わずかな温度変動が大きな問題につながることをすぐに理解できます。酸化処理中にウェーハの温度が0.5℃変動するだけでも、ゲート酸化膜の完全性が損なわれてしまいます。リソグラフィーにおいても、数度の温度偏差があるだけで線幅にばらつきが生じます。熱的な再現性は単なる望ましい特性ではなく...

ウェーハの薄化処理は、熱に敏感なプロセスです。適切な熱管理が行われないと、シリコンが割れてしまいます。また、表面の温度が2℃変動するだけでも、応力の不均一が生じ、その結果、歩留まりの低下につながります。私たちは、このような制約を考慮して赤外線加熱装置を設計しました。つまり、ウェーハに与える熱を精密...

夜間にパティオを閉め切る必要はない。問題となるのは、均一でない暖かさである。中心にいるときは暑く、他の場所は寒くなり、毛布が行き来し始める。2026年型電気ヒーターは、放射熱をコントロールできることを実用的な目標に設計されており、快適さがユニットではなく人に追従する。 実際に内部にあるもの 高出力...

SEMフロアでは、微少なサンプルステージのドリフトや不安定なフォトレジストのベークプロファイルが、知らぬ間に歩留まりを低下させる。表示上はわずかな温度変動でも、数時間後には線幅誤差や帯電アーティファクトとして現れる。これに対処するため、当社は赤外線SEMヒーターを開発し、ドリフトの発生源を抑制して...

ファブフロアでは、サーマルバジェットはガイドラインではなく、絶対的な境界です。ソフトベイクやハードベイクで1℃でもずれると、フォトレジストのプロファイルが変化します。CD制御がずれ、オーバーレイ誤差が増加します。やがて製造ラインは良品とスクラップを分けるのではなく、問題を分けるだけになります。 実...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイク工程は単なる一工程ではない。そこが門口である。温度異常や微粒子発生が一度でもあれば、多くのウェハを失う可能性がある。そこで我々は、シフトごとにその門を閉じ続けるために、ファブランプ用の石英ガラスシールドを製作した。 内部で重要なポイント 高純度の融解石英...