なぜ金メッキされたSWIRランプがウェーハ加工にとって非常に有効なのか 半導体製造工場では、常に熱という問題と戦っている。迅速かつ高精度に処理を行う必要があるが、間違えると回路が破壊されてしまう。まさに綱渡りのような状況だ。そこで役立つのが、金メッキされた短波長赤外線ランプだ。 これらは通常の加熱...

飛散物を防ぐ：なぜ金メッキ済みのツインチューブランプが歩留まりを守るのか 高圧半導体製造環境において、ランプが壊れるというのは単なる「メンテナンスの問題」に過ぎないわけではありません。それはまさに大惨事です。 通常の石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、ガラスの破片や金属酸化物がウェーハ全...