なぜ金メッキされたSWIRランプがウェーハ加工にとって非常に有効なのか 半導体製造工場では、常に熱という問題と戦っている。迅速かつ高精度に処理を行う必要があるが、間違えると回路が破壊されてしまう。まさに綱渡りのような状況だ。そこで役立つのが、金メッキされた短波長赤外線ランプだ。 これらは通常の加熱...

揮発性の化学物質を加熱する際には、安全を最優先にしなければなりません。正直に言えば、半導体洗浄用の溶液を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際には、少しのミスでも大惨事につながります。わずかな火花や露出した加熱素子だけで、大変な事態になってしまいます。 そのため、私たちは...

電力を適切な場所に留める：半導体ヒーターの配線について 半導体製造においては、電気漏れは大きな問題です。そんなことは許されません。 そのため、私たちはヒーターアセンブリにテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。この材料は高温に耐えられ、クリーンルームを台無しにするような有害なガ...

まったく汚染のない加熱：ゼロコンタミネーション技術 ほんのわずかな塵さえも許されないクリーンルームを想像してみてください。それが半導体製造の現実です。 そのような環境で加熱が必要な場合、ヒーター自体が問題の原因になってはいけません。だからこそ、私たちは石英製の赤外線ランプを完全に密閉された構造で作...

ファブ内では、フォトレジストが載ったカートの温度がどれだけ速く変動するかによって、線幅にも変動が生じます。わずかな温度のばらつきでも、一括して製品を廃棄せざるを得ません。そこで、私たちはこのようなばらつきをなくすためにクリーンルーム用のヒーターを開発しました。このヒーターにより、全ての製品が一定の...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの焼成処理は決して手を抜くべきではありません。ソフトベイクやハードベイク時に1℃でも温度が変動すると、ウエハの重要な寸法が変わり、側壁の形状も乱れてしまいます。また、ウエハに熱的不均一性が生じると、歩留まりの低下や再加工が必要になり、最悪の場合は全ロット...