ウェーハ酸化用ヒーター素子

ファブの現場では、わずかな温度変動が大きな問題につながることをすぐに理解できます。酸化処理中にウェーハの温度が0.5℃変動するだけでも、ゲート酸化膜の完全性が損なわれてしまいます。リソグラフィーにおいても、数度の温度偏差があるだけで線幅にばらつきが生じます。熱的な再現性は単なる望ましい特性ではなく...