クラス100の環境での汚染を防ぐ方法
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、その悩みはよくご存知でしょう。わずかな金属片やガスの発生だけで、全ての製品が台無しになってしまいます。一般的な加熱要素では、このような状況に対応できません。加熱や冷却のたびに酸化したり、剥がれ落ちたりして、汚れが残ってしまいます。
私たちは、より良い方法を見つけました。高純度の石英インフラレッドランプと、徹底的に清潔に作られたステンレス製のケースを組み合わせて使用しています。
なぜ高純度の石英を使うのか？
加熱要素としては合成石英を使用しています。これは通常のガラスとは異なり、高温になっても結晶化したり、不純物が漏れ出したりすることはありません。
最も大きな利点は、短波長の赤外線放射です。この光は、周囲の空気を加熱するのではなく、直接対象物を加熱します。これにより、空気の流れが安定し、制御された環境が実現されます。
ケースの詳細
ここが多くの人が間違えるポイントです。ほとんどのケースは、ほこりがたまりやすい構造になっています。
私たちは316Lステンレス鋼を使用し、鏡面のように磨き上げています。なぜでしょうか？微量の凹みがあると、そこにほこりが隠れてしまうからです。また、組み立て過程では有機系の潤滑剤や接着剤の使用を完全に禁止しています。すべての溶接はTIG溶接で行われ、表面に鉄分が残らないように処理されています。
また、取り付け時には許容範囲を極めて厳しく設定しています。もし装置が緩んでいると、振動が起きて摩擦が生じます。摩擦によって微粒子が発生し、それが連鎖反応を引き起こします。これは避けたい状況です。
トレードオフ（正直なところ）
高純度の石英は最も清潔な選択肢ですが、脆いという欠点があります。
**絶対に素手でこのランプに触れないでください。**皮膚から出る油分が発熱源となり、ランプが壊れる原因となります。
また、これらのランプは大量の熱を発生させます。そのため、ヒートシンクが十分に機能しているか確認する必要があります。ステンレス製のケースの排気が適切でないと、熱が周囲のセンサーに影響を与えてしまいます。
最後に、高温に耐えるPTFEケーブルを使用しましょう。そうすれば、絶縁体が劣化して製造エリアに飛び散るのを防げます。簡単ですが、後々のトラブルを回避できます。