别再让加热器破坏你的晶圆了 在100级洁净室里，哪怕只有一粒微小的灰尘，都足以毁掉整批产品。这真是噩梦般的状况。大多数普通加热器都是问题的根源——它们会释放出有害气体或微小颗粒，这些物质会落在不该出现的地方。 因此，我们使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯依靠辐射热来加温，不会产生气流，从而避免污染...

杜绝玻璃碎片对晶圆的破坏：在灯管故障时保护晶圆清洁 在高负荷的半导体生产环境中，红外灯管突然爆炸无疑是一场灾难。当石英管损坏时，它不会只是停止工作，而是会爆炸。这样一来，玻璃碎片和化学物质就会溅到晶圆表面，导致晶圆受损。不仅产量会下降，甚至整个生产过程都会失败。 我们花了大量时间来研究如何提前避免...

加热易挥发化学物质时的安全措施 说实话，加热用于半导体清洗的溶液其实是一项非常危险的工作。当处理那些容易着火或爆炸的溶剂时，任何一点小失误都可能导致灾难性后果。哪怕有一个火花或裸露的加热元件，都可能引发严重事故。 因此，我们不再使用那种暴露在外的加热元件，而是改用封装式的红外灯。 “裸露式”灯的弊...