别再让加热器破坏你的晶圆了
在100级洁净室里，哪怕只有一粒微小的灰尘，都足以毁掉整批产品。这真是噩梦般的状况。大多数普通加热器都是问题的根源——它们会释放出有害气体或微小颗粒，这些物质会落在不该出现的地方。
因此，我们使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯依靠辐射热来加温，不会产生气流，从而避免污染物扩散到工件上。它产生的只是纯粹的、直接的熱量而已。
材料的选择
我们使用的的是杂质含量极低的熔融石英。为什么呢？因为这样就可以防止石英管在高温下发生变形或破裂。与那些会随着时间而氧化、剥落的金属加热器不同，石英则能保持稳定状态。此外，我们还采用真空密封结构来固定灯丝，这样就能让灯的使用寿命更长，无需频繁更换灯管。这样一来，洁净室被破坏的风险也就降低了。
工作原理
这些灯的升温与降温速度都非常快。在很小的空间内就能产生大量的热量。由于是辐射热，热量会直接作用于工件上，从而避免其他设备过热。你可以将它们直接接入现有的控制系统中，利用精密的SCR元件来精确控制温度。
一个小贴士：如果你想加快干燥过程而提高功率，那么就要注意灯架的承重能力。如此多的热量可能会让灯架变形，所以一定要确保灯架能够承受这样的热量。
如何将其应用到生产环境中
如果你还在使用旧式的对流式加热系统，那么这些红外灯就是绝佳的替代品。使用红外加热后，就无需再在加热区域使用带HEPA过滤器的鼓风机了。管道结构也会变得更简单，真空室内的故障点也会减少，生产效率也会提高。这无疑是一种更高效的工作方式。