在光刻工厂中，光阻烘烤并非简单的工序而已——它其实是一种热处理过程。如果在软烘或硬烘过程中温度偏差超过2°C，那么芯片的尺寸控制以及成品率就会受到严重影响。因此，我们特意设计了石英加热灯，以确保每次烘烤时温度都能保持在精确范围内。 关键在于什么？ 灯体由高纯度的熔融石英制成，结构简单且性能稳定。其...

在晶圆厂，光刻胶的烘烤不仅仅是一个步骤。这是一个门槛。一次温度波动，一次颗粒事件，你可能会损失大量的晶圆。我们为晶圆厂灯具制造了一个石英玻璃护罩，以保持这个门槛在每个轮班中都关闭。 引擎盖下的重要内容 它是高纯度的熔融石英，因其在短波和中波红外线中的稳定传输而被选择，并且在洁净室空气中保持低挥发性...