洁净室烤箱红外线加热器

在洁净室中降低碳排放：为何红外线加热是最佳选择 目前，大多数半导体加工设备仍然依赖对流加热方式。本质上，就是通过加热空气来让晶圆升温。这种方式效率低下且浪费资源。如果想要打造“绿色工厂”，这种技术显然已经过时了。 正因如此，人们开始转向红外线加热技术。 关键在于能量的传递方式。 在对流加热中，能量...