固态电池加工加热器

在固态电池的加工过程中，温度波动并非仅仅表现为图表上的曲线而已。这种波动会浪费晶圆资源，占用过多的能量，还会让生产计划变得极为复杂。光刻胶的软烘和硬烘过程对温度控制要求极为严格，而层状结构与电解质界面则需要极高的温度稳定性。如果加热器无法保持基材表面的温度均匀性，那么产品的合格率就会受到影响。 技...