晶圆加工设备用温度传感器

如何降低晶圆加工过程中的能源消耗与碳排放 说实话，半导体制造厂是能源消耗大户。如果想要减少碳足迹，就必须考虑如何更高效地加热晶圆。 长期以来，我们一直使用电阻式加热器。但问题在于，这类加热器需要将整个房间都加热到适宜的温度，这样才能让晶圆变得足够热。这显然是一种浪费。因此，我们现在开始转向红外加热...