캐논 리소그래피 히터 전구

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 선 굵기를 정확하게 제어해야 합니다. 조금이라도 오차가 생기면 노출 범위가 줄어들고, 웨이퍼 위의 패턴들도 제대로 형성되지 않습니다. 캐논의 리소그래피 히터는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 설계되었습니다. 열 특성을 안정적...