포토레지스트 소프트 베이크 램프

리소그래피 공정에서 소프트 베이크는 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 포토레지스트의 형태를 고정시키고, 용매를 제거하며, 향후 공정에서 필요한 선권을 조절하는 데 중요한 역할을 합니다. 램프의 성능이 저하될 경우, 즉시 알아차릴 수 있습니다. 예를 들어, 가장자리...