웨이퍼 IR용 고정밀 열

공장 바닥에서 리소그래피 클러스터는 멈추지 않고 계속 움직인다. 트랙은 웨이퍼를 공급하고, 레지스트는 회전하며, 에지 비드가 제거되고, 베이크는 매번 엄격한 열 조건 내에서 이루어져야 한다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 1°C의 온도 편차는 중요 치수(CD)를...