왜 모든 웨이퍼 IR 센서에 대해 스트레스 테스트를 하는가? 웨이퍼 제조 과정에서는 아주 작은 전기 방전만으로도 전체 실리콘 제품군이 망가질 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는 ‘단순 점검’만으로는 충분하다고 생각하지 않습니다. 우리 공장을 떠...

공장 바닥에서 리소그래피 클러스터는 멈추지 않고 계속 움직인다. 트랙은 웨이퍼를 공급하고, 레지스트는 회전하며, 에지 비드가 제거되고, 베이크는 매번 엄격한 열 조건 내에서 이루어져야 한다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 1°C의 온도 편차는 중요 치수(CD)를...