반도체 레이저 다이오드 히터

리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 소성할 때 반드시 세심한 주의가 필요합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 웨이퍼에 열 불균일성이 발생하면 수율 저하, 재작업, 심지어 전체 제품의 폐기와...