적외선 가열을 이용한 칩 제조 과정에서의 탄소 절감 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 열이 필요하지만, 그 열의 양은 정확해야 합니다. 하지만 가장 피하고 싶은 것은 먼지가 발생하는 것입니다. 그래서 우리는 적외선 가열 장치를 사용합니다....

클린룸에서의 탄소 감축: 왜 적외선이 최선의 방법인가 대부분의 반도체 가열 시스템은 여전히 대류 방식에 의존하고 있습니다. 기본적으로는 웨이퍼를 따뜻하게 하기 위해 거대한 공기 주머니를 가열하는 것입니다. 이 방식은 매우 느리고, 에너지 낭비가 심합니다. 솔직히 말해...

100등급 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 100등급 클린룸을 운영한다면, 아시다시피 미세한 먼지 한 조각이나 가열 요소에서 나오는 화학물질들도 결코 무시할 수 없습니다. 이러한 것들은 치명적인 문제를 일으킬 수 있습니다. 웨이퍼가 손상되고, 생산 효율도 급격히...

쇄파를 막아라: 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하다 대량 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 재앙과도 같습니다. 석영관이 파손되면, 그저 램프가 고장 난 것이 아니라, 유리 조각들과 금속 가루들이 웨이퍼 위에 흩어지게 됩니다. 이는 결...

팹에서는 포토레지스트가 담긴 카트의 온도 변동이 얼마나 빨리 선관경의 변동으로 이어지는지 알고 계시죠. 단 한 번의 불규칙한 가열만으로도 전체 제품을 폐기해야 할 수도 있습니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 클린룸용 히터를 개발했습니다. 이 히터는 모든 제품...