세척용 방수 적외선 램프

습식 벤치에서의 열 기울기 습식 벤치에서 발생하는 세척으로 인한 열 기울기는 조용한 유형이다. 즉, 수율을 조용히 감소시키는 기울기이다. 일반적인 히터는 가장자리에 비드가 남거나 포토레지스트에 스트레스를 주지 않고 웨이퍼를 깨끗하게 건조시킬 수 없다. 열 균일성이 변...