에너지 효율적인 웨이퍼 히터

유리 파편으로부터 웨이퍼를 보호하기: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하 반도체 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장 나는 것은 정말 큰 문제입니다. 석영관이 파손되면 단순히 가열 기능만 멈추는 것이 아니라, 폭발하게 됩니다. 그 결과 유리 조각...